说起单晶硅，也许大家会感到有些陌生，但一说起光伏与半导体大家就会很熟悉了。单晶硅正是半导体和光伏产业的基础材料，其质量与性能对于电子产品的性能和可靠性至关重要。而单晶硅的生产与真空工艺密不可分，同时真空泵过滤器在这之中也扮演着重要角色。


单晶硅的生产过程被称为拉晶，真空拉晶即为在单晶炉中创造真空环境，这样做可以实现比常规拉晶更加纯净的单晶硅生产。并且在拉晶的过程中，单晶炉内的杂质与气体会影响单晶硅生长的质量，真空泵在创造真空环境时可以将这些杂质与气体抽离单晶炉，这时候真空泵过滤器就派上用场了。


单晶炉中的杂质与气体可以通过真空泵来抽离，但这些杂质被真空泵抽入后会对真空泵本身造成负面影响，例如破坏真空泵的密封件与内部零件，污染真空泵油等等。此时为真空泵安装进气过滤器，则可以将杂质过滤，防止真空泵遭到损坏。


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