随着科技的不断发展，电子设备已经成为了现代生活中不可或缺的一部分，而半导体制造可以说是生产这些电子设备的关键技术之一。如果要研究半导体制造，真空工艺可以说是绕不开的一环。半导体的生产需要用到多种真空工艺，包括真空蒸发镀膜、真空封装、真空离子注入等等。半导体生产离不开真空工艺，而真空工艺离不开真空泵与真空泵过滤器。


使用真空工艺就肯定离不开真空泵，半导体制造特殊工艺决定了我们需要在使用真空泵时为其加装真空泵过滤器来保护真空泵。举例说明，半导体制造过程中，会使用各种气体进行蚀刻，将晶圆表面不需要的材质进行去除，从而形成电路和器件的细微结构。


而这些气体中往往会携带微小的颗粒，这些颗粒会附在材料表面，真空泵在进气时就有可能会将其吸入，使得内部零件被破坏。而真空泵过滤器就能够很好的过滤这些粉尘，保护真空泵。


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