真空泵过滤器有称作真空泵油雾过滤器滤芯，是为了维护真空泵的高效正常运转，延长真空泵使用寿命而设计的零部件，对真空泵起到了很好的保护作用，一般情况下真空泵同时需要有三个层次的过滤。
　　第一层次过滤，进气口空气过滤：将吸入气体中的固体颗粒拦截下来。并通过对较大杂质、粉尘颗粒的拦截，极大程度地减轻后端两层次过滤的压力，减少真空泵运行中的机械磨损，延长真空泵的使用寿命。
　　第二层次过滤，真空泵油的过滤：油式真空泵是以真空泵油作为介质来抽真空的，真空泵运行过程中，油品长期在高温下工作，会逐渐碳化变质，渐渐胶质化。另外真空泵叶片等部件在旋转中也会有所摩擦，会产生一些粉尘颗粒，这些胶化的油品及粉尘颗粒混合在真空泵油中一起运转，因此要通过油过滤器及时将它们收集起来。这时真空泵过滤器就能起到一种很好的保护作用，污质由它收集和容纳起来了。
　　第三层次过滤,排气过滤:真空泵排出气体中含有大量的油雾颗粒，如果不经过分离处理，这些油雾颗粒随着气体一起排出来，就形成了大家通常所说的“冒烟”，真空泵“冒烟”了，车间的工作环境就受到了污染，而且真空泵油也就流失得特别快，需要每天对真空泵进行加油。这时，有了排气过滤器就可以解决这一问题。油气混合物在排出时需要穿过排气过滤器的高精度玻纤滤纸，油雾颗粒以液体的形态无法直接穿过玻纤滤纸，于是就附着在滤纸上，越来越多的油雾颗粒附着在滤纸上再结集成油滴回流真空泵内，干净的气体则在一定的压力下穿过玻纤纸顺利排出。
　　这样真空泵过滤器就达到了油气分离的作用。