一文了解真空泵过滤器PVD涂层应用 ​

你能想象吗，令人震撼的现代精加工工艺PVD涂层源于17世纪。PVD工艺是在真空条件下进行。该过程涉及四个步骤：蒸发，运输，反应，沉积。在整个过程中也少不了真空泵过滤器的所发挥的作用。

1.蒸发 –目标被高能源如电子或离子束轰击。这会将原子从靶材表面移走，“汽化”它们，从而将材料沉积在工件上。

2.传输 -这是汽化原子从靶标到要涂覆的基材或工件的运动。

3.反应 –如果以金属为目标，则PVD涂层将由金属氧化物，氮化物，碳化物和类似的材料组成。然后，金属原子将在运输阶段与选定的气体发生反应。上述涂层中使用的气体可以是氧气，氮气和甲烷，这些气体加上真空泵产生的挥发性有机物随着大气排走，会对环境造成污染，因此真空泵过滤器能够使得该工艺绿色排放无污染。

4.沉积 -这是涂层堆积并粘结到基材表面的时间。它甚至略微渗入表面，以提供持久的附着力。

• 阴极电弧沉积：这涉及到高功率电弧，该电弧爆炸成高度离子化的蒸气，从而沉积到目标产品上。
• 电子束物理气相沉积：在“高”真空下，通过电子轰击将材料加热至高蒸汽压。该材料通过缩合过程沉积在产品上。
• 蒸发沉积：通过在“低”真空中的电阻加热将材料加热至高蒸气压。
• 脉冲激光沉积：在这种情况下，使用高功率激光将目标材料熔化成蒸气进行沉积。
• 溅射沉积：辉光等离子体放电（通常由磁体定位在“靶”周围）轰击溅射的材料，使其以蒸气的形式散开，从而导致涂层沉积。

当然，PVD的诞生和发展离不开对电、磁能以及对气态化学反应的发现，历史上第一位使用真空泵能够在“真空管”中形成辉光放电（等离子体）的人是英国科学家迈克尔·法拉第（Michael Faraday），他于1838年使用黄铜电极和约2托的真空度。处理的是用电量与通过化学反应转化的物质之间的关系。这些原理在当今的电化学中仍用于制造金属涂层的物体，例如PVD工艺。如果你想进一步了解真空涂层的步骤，可以参考滤哥官网文章《PVD真空镀膜的步骤》。无论怎样，PVD都离不开真空系统以及真空泵过滤器，另外，数据表明，PVD涂层可以将产品的使用寿命提高十倍，在某些情况下，使用寿命超过25年。

PVD工艺的发展解决了产品表面处理问题，让世界更加多姿多彩，在技术已经相对成熟的今天，我们应该永不停止前进的步伐。滤哥从事真空泵过滤器研发已经20余年，产品应用的领域非常的广泛，也获得客户的诸多肯定，但是，滤哥仍然不断创新，解决更多复杂工艺的真空过滤难题。