真空泵油雾分离器在推动力的作用下，位于一侧的油气混合物通过真空泵油雾分离器的滤纸及棉质，油则被截留，从而实现气体与真空油的分离。被过滤掉的真空泵油随着回油管进行循环利用，排出的则是无油的废气，而达到无污染，洁净的效果。
　　真空泵运行时的检查：使用真空泵油雾分离器压力表检测是否堵塞，当压力表读数位于红色区域，说明油雾分离器已堵塞更换。如果无油雾分离器压力表，则油雾分离器的阻力由驱动电机电流的变化来测定，驱动电机消耗过的电流或真空泵的流量下降，说明油雾分离器已堵塞。
　　如果真空泵油雾分离器压力表指示的压力比通常低，或驱动电机消耗的电流比通常少，原因是有一个油雾分离器损坏，需要更换油雾分离器。
　　如果排放的气体中含有油，原因是油雾分离器堵塞或损坏要更换。真空泵油雾分离器不能彻底清洗干净,要更换堵塞的油雾分离器。
　　更换真空泵油雾分离器前请先关闭真空泵并切断电源，确保真空泵已通大气压，从油箱上打开排气口盖板，借助专用内六用扳手拆下排气过滤器，将装有密封圈的新的油雾分离器开口端安装在油箱内正确位置上。