扩散泵是一种非常特殊的真空泵，与传统的油封式真空泵不同，扩散泵利用伞状喷嘴喷出的高速工质蒸汽射流，将泵送的气体扩散到蒸汽射流中，从而实现抽真空。扩散泵的优点很多例如结构简单、无运动件、噪音很小、在高真空段有较大抽速。因此扩散泵的应用面也很广。


一般来说，扩散泵很少用到真空泵进气过滤器，原因是扩散泵在真空度很高的情况下进行工作，例如真空度在10pa甚至是1pa的情况下，在这种时候，加装进气过滤器，哪怕只有一个弯道，都会影响扩散泵的抽速。但随着真空泵应用的范围越来越广，工况越来越复杂，扩散泵需要安装进气过滤器的情况也并非绝无仅有。


如果遇到了使用扩散泵必须加装进气过滤器的情况，那就需要注意以下三点，首先，选择的过滤器内部的结构要平滑，尽量避免有弯道；其次，选择的过滤器密封性能一定要好；最后，滤芯的精度不能过高。选择合适的进气过滤器，才不会影响到扩散泵的抽速。


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