水环式真空泵在使用过后一段时间内，需要进行内部清洁。对真空泵内部的清洁难度较高，程序也比较复杂，要在保证不伤害真空泵的情况下进行清洁。同时也要注意真空泵过滤器是否到了使用寿命。


水环式真空泵在使用过一段时间后，泵体内部会堆积污渍和水垢，此时可以使用稀释硝酸或其他可溶性物质清洁，但不可使用高纯度物质，否则会对真空泵内部组件造成损坏，将可溶性物质放入容器，等待约一个小时，然后清水冲洗即可。将水环式真空泵的喷嘴和导管卸下，在将其清理油脂后可以用有机溶剂，如丙酮、四氯化碳等浸泡、洗涤，之后再用冷水冲洗。


部分水环式真空泵的零件可能会带有毛刺或锈斑，可以用金石或者金相砂纸轻轻擦拭去除毛刺和锈斑。除此之外，在清洁水环式真空泵时，也需要检查所使用的真空泵过滤器是否已经达到使用寿命，水环式真空泵一般选用真空泵粉尘过滤器，应该定时清理粉尘或更换滤芯。


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