一般的粗真空远远不能满足某些精密工艺的需要，最简单的抽真空设备就是机械泵，它是利用转子的高速旋转抽取气体并排出，但是光靠单一的机械泵也只能达到大气压的十万分之一，要想达到超真空的目的就只能多种泵组合，下面滤哥将为你提供获取超真空的真空泵组合方案。真空泵过滤器中的空气过滤器以及排气滤芯也有必要安装。

要想获取超真空，就需要用到分子泵，分子泵由极速旋转的运动叶片和固定叶片相互配合，抽入的空气获得定向的速度被抽取，实验室中能够经常看到的分子泵的抽速一般为1500转每秒，而航空发电机也不过500HZ，由此可见，分子泵的抽气能力还是非常强大的。通过分子泵可以达到大气压的千亿分之一真空度。极高速旋转的分子泵非常脆弱，一粒粉尘都会对叶片造成较大的损坏，因此可以在其前面加装真空泵空气过滤器，也可以先用机械泵抽取，达到10帕的真空度后，再使用分子泵，在分子泵运转后，机械泵也要保持运转一致性。

当机械泵和分子泵工作一段时间后，会出现真空度稳定不变的情况，其实这个时候还没有达到分子泵的极限，其中的原因是由于分子泵的泵腔内吸附了大量的气体分子，气体分子持续放气与分子泵达到平衡，因此分子泵要持续抽气，就需要对设备加热，使得泵快速放气。经过连续抽气，尽管此时的空气已经很稀薄了，但是还没有到达终点。

继续提高真空度，就需要再连接另外两种泵，离子泵或者吸附泵，这两种泵与前面提到的两种原理有所区别，机械泵和分子泵都是利用抽气排气达到真空状态，而离子泵和吸附泵则是通过吸附而不排气的方式实现真空，吸附泵通常是利用活性炭或者比较活泼的金属来吸附空气分子，离子泵则是利用高压放电，将空气分子电离，电离后的分子会通过电磁场被吸附到由金属钛板制成的阴极板上。在分子泵的后面再组合安装这两种泵，此时的真空度达到1个大气压的1百万分之1，此时的真空度就处于超真空的范围内，已经可以满足绝大部分的精密工艺了。

真空泵是利用负压将容器中的空气抽走，但是由于泵的使用工况比较复杂，有时候抽取的气体中含有大量水分子、一些大粉尘颗粒等，这就需要在泵前安装真空泵空气过滤器，过滤掉有害物质，避免真空泵受到损坏，真空泵油受到污染，延长真空泵的寿命，节约成本。