在《预防真空热处理炉膛污染的方法（上）》中我们了解到，真空热处理炉膛泄漏产生污染的预防与检漏办法，当然，除了泄漏污染以外，还有真空泵返油造成的污染，上一篇文章告诉我们真空泵如果不安装真空泵过滤器还会对厂区环境造成影响，因此，需要加强对真空系统的污染处理。

真空泵热处理使用泵的类型不同，预防措施也有所差别，因此需要分情况讨论：

对于扩散泵返油的预防：

1.       定期查看扩散泵前级泵的运行情况，加热前，前级泵的真空度需要受到控制，如果不进行严格控制，将会导致出口压力高于入口压力，从而造成返油。

2.       有必要在扩散泵和真空室之间安装冷阱，这样不仅可以收集泵的返油以及裂解物蒸汽，还能够将真空室内的不必要的蒸汽抽出，避免真空泵油的污染。

3.       查看泵冷却水的管道是否通畅，如果出现堵塞，需要进行疏通处理，加强水温和流量的控制，避免因为油无法及时冷却而返流。

4.       根据泵油的特性加强对扩散泵温度的控制，以免因为蒸汽流量过大，冷却不及时而造成返流，这样需要对泵的热电偶进行检验。

5.       避免泵油发生氧化，需要在泵油完全降温后再关闭冷却水。

6.       定期清理泵的真空挡板阀。

真空泵过滤器也需要进行检查，主要查看其是否因为油的乳化而发生堵塞，堵塞严重时便会发生喷油，造成污染。

对于机械泵以及罗茨泵返油的预防：

1.       控制泵油的温度很重要，通过控制泵的风冷或者水冷装置，保证水冷泵的流量和压力和冷却水的入口温度，就能防止返油，对于分冷类型装置的泵就需要确保风机的正常。

2.       定期更换真空泵油，使用质量较好的真空泵过滤器，以确保排气顺畅，降低压力防止返油。

3.       检查清洁真空管道阀门，避免密封性减弱。

以上就是防止真空热处理不同类型的泵返油的方法，总之，在真空热处理设备的维护过程中，需要 “定期检查 日常维护 及时解决”，安装真空泵过滤器。只有保证设备的正常运行，且没有污染，才能让真空热处理得到更广泛的应用，才能更好的保证产品的品质，提高生产效率。

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